校准平台

ATR-7041-AL

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XYθ校准平台
移动方向 XYθ轴3方向
移动量 XY：±5mm、θ：±5°
平台面 70mm×70mm

产品资料

  • 技術資料
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特长

这是用于微调的薄型自动 XYθ 平台。
XYθ可独立驱动和控制。
非常适合对齐电子元件和面板。
可用于图像处理设备、检测设备等中样品的定位。

校准平台介绍电影
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规格

移动方向 XYθ轴3方向
移动量 XY：±5mm、θ：±5°
平台面 70mm×70mm
使用马达 与PK523HPB 相当
分辨率 XY：0.002mm、θ：0.002°
进给方式 滚珠丝杆、1mm
移动导轨 XY：V 型槽与交叉滚柱、θ：交叉滚柱轴承
移动精度HV XY：真直度（水平・垂直）0.001mm
重复精度 XY：±0.001mm、θ：±0.001°
径向摆动 θ：0.003mm
面摆动 θ：0.005mm
空程 XY：0.002mm、θ：0.005°
力矩刚性 横摆刚性　2sec/N・cm、俯仰刚性　3sec/N・cm、翻滚刚性　2sec/N・cm
承重 68.6N(7kgf)
质量 1.7kg
最高速度 XY：10mm/s、θ：10°（5,000pps 时）
主要材质/表面处理 铝合金/黑色氧化铝处理梨皮底
原点传感器 常闭接点（断开接点、B 接点）动作、光学传感器
限位传感器 常闭接点（断开接点、B 接点）动作、光学传感器
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