环境举措
站点地图
Japanese
English
Chinese
型号(半角英文数字、可部分一致)
内容
主页
产品信息
顾客支持
公司信息
下载
咨询
主页
产品信息
技术信息
测量机相关
测量机相关
STRAIGHTOR
激光自准直仪
STRAIGHTOR
STRAIGHTOR的测量原理 光学系统
STRAIGHTOR的测量原理 位移测量系统
STRAIGHTOR的测量原理 光学系统
图1表示光学系统。
STRAIGHTOR将利用了直角棱镜性质的真直位移测量系统与利用了自准直仪原理的角度位移测量系统融为一体。
激光光束被偏光分束器(PBS1)分成与纸面水平与垂直的互相正交的P偏光与S偏光光束。
穿透的P偏光用于真直位移测量,反射的S偏光用于角度位移测量。
▲PageTop
STRAIGHTOR的测量原理 位移测量系统
P偏光穿透PBS1,通过1/4波长板,从直线偏光变为圆偏光。而且,该光束被安装在被测量物上的直角棱镜(CC1)反射,再次穿透1/4波长板,变为S偏光。
然后被PBS1反射,进入CMOS。
如果CC1的位移是S,则光束在CMOS上移动2S。也就是说,将位移光学放大2倍,提高了分辨率。
角度位移测量如图4所示,利用自准直仪的原理检出M4的倾斜。设L3的焦点距离为f ,则M4倾斜了θ时,光束的移动(d)变为2θ f。
▲PAGE TOP
手动平台
自动平台・执行器
显微镜用自动化产品
自动对焦显微镜
光学底座
光学附件
光学元件
工作显微镜(TOOL SCOPE)
测量机
技术信息
自动平台相关
手动平台相关
显微镜/照明装置相关
测量机相关
标准・其他
产品使用例
产品特别订货例
推荐信息
产品信息
手动平台
自动平台
显微镜用自动化产品
光学元件
光学附件
光学底座
工作显微镜(TOOL SCOPE)
测量机
技术信息
顾客支持
咨询表格
常见问题(FAQ)
关于产品的保修
技术信息
下载
出口合规判定书
体系图、解说页的PDF
咨询
咨询表格
常见问题(FAQ)
公司信息
致辞(社长致辞)
公司简介
发展历程
事业所介绍
NEWS
中央精机的通知
活动介绍