本公司自动平台设置了产品目录中记载的检查项目与精度基准，出厂时进行全数精度检查，仅合格品才出厂。
为避免发生人为的误差（个人的检查误差），精度检查全自动化，检查结果都有保管。
根据顾客要求，在出厂时随附检查表。
检查使用的测量仪器确立了与各自的标准器的可追溯性，进行着信赖性高的精度管理。

定位精度等的测长使用了超精密激光测量系统或者玻璃尺内置型数字测长器。
真直度（水平）、真直度（垂直）、横摆、俯仰的测量使用了可同时测量4个位移的本公司“真直度测量机STRAIGHTOR”或者超精密激光测量系统。
测量的数据分制造编号保管。
根据顾客要求，可在出厂时随附检查表。

□检查
利用超精密激光测量系统测量X平台的定位精度。
超精密激光测量系统可对微小进给中的定位精度等，进行亚微米级的精密测量。
另外，确立了可追溯性，保证了精度可以信赖。测量在恒温恒湿的检查室内进行。
X平台的控制使用本公司的“QT-A系列”控制器驱动器，利用连接的电脑上的本公司检查程序自动进行，以免发生人为的误差。

定位精度等的测长使用了玻璃尺内置型数字测长器。真直度（水平）、真直度（垂直）、横摆、俯仰的测量使用了可同时测量4个位移的本公司“真直度测量机STRAIGHTOR”。测量的数据分制造编号保管。根据顾客要求，可在出厂时随附检查表。

□检查
将本公司“真直度测量机STRAIGHTOR”纵向安装，同时测量Z平台的运动姿态，即真直度（水平、垂直）、横摆、俯仰这4个位移。
4个位移同时测量，从而大幅缩短了调校及测量时间。
Z平台的控制使用本公司的“QT-A系列”控制器驱动器，利用连接的电脑上的本公司检查程序自动进行，以免发生人为的误差。

倾斜平台的测量使用了经纬仪、本公司“激光自准直仪 LAC-SA”或者光电式自准直仪与精密镜。测量的数据分制造编号保管。根据顾客要求，可在出厂时随附检查表。

□检查
利用本公司“激光自准直仪 LAC-SA”测量倾斜平台的重复精度。
“激光自准直仪 LAC-SA”是以半导体激光为光源的，因此能看到光轴，轻松进行调校。
另外，由于光束直径小，测量镜可做成小直径。
倾斜平台的控制使用本公司的“QT-A系列”控制器驱动器，利用连接的电脑上的本公司检查程序自动进行，以免发生人为的误差。

旋转平台的测量使用了光电式自准直仪或者可同时测量水平、垂直的角度位移的本公司“激光自准直仪
LAC-SA”与精密12面镜。测量的数据分制造编号保管。根据顾客要求，可在出厂时随附检查表。

□检查
利用光电式自准直仪与精密12面镜测量旋转平台的定位精度。旋转平台的控制使用本公司的“QT-A系列”控制器驱动器，利用连接的电脑上的本公司检查程序自动进行，以免发生人为的误差。
用“激光自准直仪 LAC-SA”也能同样测量。