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如何获得良好的平台安装精度
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关于真空环境支持
如何获得良好的平台安装精度
使用千分表的安装方法(这是本公司推荐的安装方法。)
使用千分表,一边将平台向箭头方向移动,一边测量平行度,使千分表的位移最小,使平台的运动与顾客设置在平台安装部附近的基准面平行。
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使用平台的加工基准面的简易安装方法
高级平台具有下图所示的加工基准面。
对称型的基准面是被罩子覆盖着的,所以请使用千分表进行调整、安装。
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使用环境
使用自动平台时,也请注意使用环境。请避免在温度极端高或低的地方、温度变化剧烈的地方、多尘的地方等使用,在以下温度/湿度下使用。
【温度】10 ~ 40℃
【湿度】20 ~ 80%RH
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关于真空环境支持
表示真空水平的单位有巴(Bar)、帕斯卡(Pa)、托(Torr),但最近业界正在从长年熟悉的托(Torr)改为Si单位的帕斯卡(Pa)。
【101325Pa 】大气压
【大致到100Pa】低真空 真空包装水平
【大致到10-1Pa】中真空 暖水瓶水平
【大致到10-5Pa】高真空 用电子显微镜使用或者有国际空间站的环境
【大致到10-7Pa】超高真空 用辐射光设施使用或者有人造卫星的环境
【更高 极高真空】宇宙空间、恒星间等
自动平台能够支持的真空度
另行协商规格后,可支持到10-5Pa。
另外,关于更高的超高真空,详细协商后也可能有条件支持,因此请另行商谈。
支持真空环境自动平台的概略规格
基本上是定制,但如下对应时,能以较短交期、较低价格供货。
・以标准品为基础,外装、马达、润滑脂采用真空规格对应。
・对应真空压力10-5Pa。
・配置真空支持限位开关。
・真空润滑脂使用高真空用的全氟聚醚润滑脂(Fomblin Y-HVAC 140/13)。
・也可使用四极杆质量分析器进行真空中释放气体的评价,提交Q-mass数据。(选购)
・也支持包锡。(选购)
・与真空腔体厂家合作,腔体自身也能定制。
真空チャンバー内での使用イメージ
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