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特长
分类・机构・导向方式
关于精度
基本构造与移动方法
刻度读取方法
安装与环境
分類・機構・案内方式
■分类・机构・导向方式
榫槽(D-T方式)
V型槽轨道与钢球(V-B方式)
V型槽与交叉滚柱(V-CR方式)
V型槽与交叉滚柱(HG-VCR方式)
■关于倾斜平台的驱动机构
复合联轴器机构概要
以往的技术与问题点
复合联轴器机构的特长
关于定位误差
关于专利
榫槽(D-T方式)
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■构造
轨道面不是滚动接触,而是采用梯形榫卯的榫槽机构,是滑动接触的导向方式。
■特长
导向部是滑动接触,组装在一起的榫与卯进行磨合,平滑地滑动。
本公司平台的驱动机构主要采用齿条齿轮方式。与其他平台相比,行程长且价格低。
■用途
用于不太要求精度、单纯定位用的平台上。最适合低倍率显微镜、观察用TV相机的对焦装置及试料的位置调节。
V型槽轨道与钢球(V-B方式)
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■构造
在轨道面相对的2条V型槽轨道上排列钢球,钢球一边在V型槽内滚动一边移动的导向方式。
■特长
V型槽轨道在淬火硬化后进行过高精度研磨加工,具有很高的平行度、平面度,因此能获得真直度良好的导向。
移动精度与V-CR同等,承重好于N-B,比V-CR稍差。
■用途
最适合光学实验等中的精密进给、精密微调定位等。
V型槽与交叉滚柱(V-CR方式)
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■用途
最适合光学实验等中的精密进给、精密微调定位等。
■特长
V型槽轨道在淬火硬化后进行过高精度研磨加工,具有很高的平行度、平面度。滚柱为了能顺滑动作,进行过接近镜面的特殊研磨,没有直径偏差与不均匀,可获得非常高精度的导向。构造上,V型槽与滚柱为线接触,因此能获得高精度的移动精度与较大的承重。
■用途
用于高精度、重载荷用的精密定位平台。最适合光学实验等中的精密进给、精密微调定位等。
可用于各种生产机械、检查装置中的精密定位及测量等。可在装置中进行精密的定量进给或者移动量的测量等测长的用法。
V型槽与交叉滚柱(HG-VCR方式)
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■构造
这种导轨是在钢铁淬火材料的轨道上磨削加工V型槽,将2条一对的轨道排列成V型槽相向而对,在该V型槽上90°交替排列滚柱,使用两对(4条轨道1组)。
这种导轨不用说精度,刚性也是最高级的。
■特长
本公司接受顾客的平台紧凑化、提高刚性的要求,为了进一步提高交叉滚柱导轨的性能,开发了全新构想的新型导轨。加大滚柱直径到轨道的高度尺寸极限,滚柱之间的排列间距也缩窄到极限,并增加排列数量,用挡圈保持住。可加载高预压,紧凑且刚性超高。
■用途
用于本公司的新的自动平台、手动平台。除了各种传感器、相机等的精密定位以外,还能用于各种生产机械、检查装置中的精密定位、测量等,在有某种程度偏载荷的用途中也能安心使用。
关于倾斜平台的驱动机构
在光线拾取调整装置及光盘制造装置等需要调整角度的领域中被广泛使用的倾斜平台上采用新的驱动机构,制成了新的产品。
其驱动机构用本公司本次开发的“复合联轴器机构CCM”解决了以往倾斜平台的问题点,实现了高精度、高分辨率、耐久性、驱动扭矩的提高。
复合联轴器机构概要
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本“复合联轴器机构”作为倾斜平台的驱动机构,采用进给丝杆代替了本公司以往的蜗杆齿轮。
用“将直进运动转换成角度运动的部件”连接该进给丝杆与倾斜部分后,变成进给丝杆画出的直线轨道传递到倾斜部分画出的圆弧轨道的机构。
通过采用该机构,可以发挥精密螺丝的长处,使高分辨率、平滑的动作以及耐久性成为可能。
以往的技术与问题点
■蜗杆齿轮方式
这是利用蜗轮与蜗杆齿轮的一般的驱动机构。在倾斜平台上,将上工作台的一部分制成蜗轮形状,用蜗杆齿轮驱动。这种机构要么具有一定量的背隙,要么不充分进行研磨调整,动作时蜗杆齿轮就会变重,或者由于蜗杆齿轮的偏心而产生转矩不均匀。另外,蜗轮与蜗杆齿轮的滑动面少,所以耐磨损性也有问题。
■执行器+弹簧方式
这是使用了执行器与弹簧的一般的微动倾斜平台所采用的驱动机构。用执行器推出上工作台,用弹簧使上工作台回到执行器侧,消除背隙。这种机构的问题是,如果弹簧力强,执行器承受的负荷变重,驱动时的负荷变大,工作台就变重,或者如果弹簧力弱,工作台就无法返回。
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复合联轴器机构的特长
“复合联轴器机构”的驱动采用了进给丝杆与特殊的连接部件,与以往的技术相比,具有以下特长。
・ウォームギヤ方式に比べ高分解能です。
・特殊な連結部品の自由な動きにより、回転ムラを吸収します。
・駆動トルクが小さいので、滑らかな動きが実現できます。
・ ウォームギヤより摺動面が多くできるので、耐久性を向上できます。
・ばねを使用しないので、確実な送りが実現できます。
・ 送りねじのリードを変更することにより分解能や移動速度の変更が可能です。
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关于定位误差
由于将直线轨道转换成圆弧轨道了,所以进给丝杆的移动量与实际移动的倾斜部分之间存在沿着正切曲线的角度误差,进给丝杆与倾斜部分的距离存在沿着正弦曲线的角度误差。但是,现实当中,移动量±3°以内的定位误差是很微小的,即使移动量±5°以内,也比蜗杆齿轮方式的定位少。另外,还能通过校准实现高精度的定位。
※誤差は送りねじで1㎜送ったときの角度0.573°を基準にしたときの誤差です。
上記の値は次の計算式で求められます。
送りねじと傾斜部分の距離での位置決め誤差(nは送りねじの移動量)
位置決め誤差=sin⊖(1 1㎜/100㎜)×n-sin⊖(1 n/100㎜)
移動量と実際に動く傾斜部分での位置決め誤差(nは送りねじの移動量)
位置決め誤差=tan⊖(1 1㎜/100㎜)×n-tan⊖(1 n/100㎜)
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关于专利
本“复合联轴器机构”已注册了“工作台姿态调整装置 专利第3848304号”的专利。
■複合カップリング機構を採用したステージ
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