设计上,在与千分尺测微头的主轴之间进行弹簧加载,因而再现性良好,背隙也最小,达到几乎可以无视的程度。因此,进给精度可以说在非常大的程度上取决于千分尺测微头自身的进给精度及平台移动的真直度。
本公司的平台中,对于移动导向(导向方式)采用了V-CR方式、HG-VCR方式的平台,根据其除了精密定位用以外,还能用于测长的特点而考虑了进给精度。综合千分尺测微头的精度、平台的真直度及两者的连接精度等误差因素,变成如下所示。
90㎜×90㎜以下のステージに対して(1+2L/10)μm以内
90㎜×90㎜を超え125㎜×150㎜以下のステージに対して(1+L/10)μm以内
ただし、Lは送り量(㎜)とする。
这种精度是千分尺测微头位于平台中心轴上的类型。
千分尺测微头在平台侧面的不受此限。