手动平台相关

手动平台相关

移动方向

平台的移动方向。

平台面

平台的移动部分的大小。

夹紧方式

表示夹紧的种类。

操作部安装位置

表示操作部的安装位置。

进给方式

表示进给平台的方式。

移动量

表示平台可移动多少。

移动量/旋钮1圈

表示移动平台的旋钮转1圈时的移动量。

分度值[中央精机 公司标准]

能够目测读取的最小刻度值表示为“分度值”

灵敏度[中央精机 公司标准]

人能够凭感觉操作的最小单位的大小表示为“灵敏度”。

移动导轨

表示所采用的导向方式。

移动精度

移动精度用真直度(水平、垂直)、横摆、俯仰的项目表示,分别定义如下。
真直度[依据JIS B 6191-1993]
“直进运动部件的运动与几何学直线偏离的程度。”
从基准位置向一个方向依次进行定位,将各个位置上的位移长度与基准位置的差作为该位置的测量值。
将基准位置与最终测量位置上的测量点连接成几何学直线,与该直线的最大差为“真直度”。
真直度用水平方向与垂直方向2个方向表示。
横摆・俯仰[依据JIS B 6191-1993]
“应直进运动的运动部件在运动中的姿态偏离的程度,是移动量基准长度,是运动部件进行直进运动时产生的角度偏差。”
从基准位置向一个方向依次进行定位,将各个位置上相对于基准位置的水平方向位移角的最大值作为“横摆”。
同样,将各个位置上相对于基准位置的垂直方向位移角的最大值作为“俯仰”。

容许力矩[依据JIS B 6201-1993]

在平台之间或者平台上组装部件时可以加载的力矩负荷称为“容许力矩”。容许力矩根据力矩负荷的方向分类,根据平台的种类而异。X、X・Y、Z平台设定容许力矩(横摆)、容许力矩(俯仰)、容许力矩(翻滚)3种,旋转平台设定容许力矩1种,倾斜平台设定容许力矩(横摆)、容许力矩(翻滚)2种。

力矩刚性[依据JIS B 6201-1993]

每1N・㎝的力矩负荷造成的手动平台的位移角(sec)为“力矩刚性”。力矩刚性根据力矩负荷的方向分类,根据手动平台的种类而异。X轴、X・Y轴、Z轴平台设定横摆刚性、俯仰刚性、翻滚刚性3种。旋转平台设定力矩刚性。表示力矩刚性的数值越小,力矩负荷造成的自动平台位移越小,刚性越优异。
 
X軸、XY軸、Z軸ステージのモーメント剛性
 1. モーメント剛性(ヨー剛性)
 2. モーメント剛性(ピッチ剛性)
 3. モーメント剛性(ロール剛性)
 XY軸ステージの場合は下軸が基準となります。









回転ステージのモーメント剛性

平行度[依据JIS B 6330-1980]

“在平面部分与平面部分的各种组合中,以其中的一方为基准,相对于与基准平面平行的几何学平面,另一方的平面部分有偏离时的偏离程度”
在平台的总移动量的中心位置上,工作台面与底座面的平面部分的偏离程度为平行度。

运动的平行度/运动的垂直度

必须与运动部件的运动互相平行的机械部分的面、线的偏离平行或者与其他运动部件的运动偏离平行的程度。
将固定在基准平面上的平台从基准位置向一个方向按一定间隔进行定位,测量各点上的基准平面与固定在移动平台上面的测量器的间隔,将其最大差作为运动的平行度。
将直角规放置在基准平面上,测量与固定在平台面上的测量器的间隔,将其最大差作为运动的垂直度。

XY正交度[依据JIS B 7440-1987]

“正交的2轴间的直角度,是相对于与作为运动的真直基准的几何学直线成直角的几何学直线,另一方的直进运动的偏离程度。”将X轴平台的基准位置与最终测量位置上的真直度(水平)的几何学直线作为基准轴。与X轴平台基准轴成直角的几何学直线相对的Y轴平台的基准位置到最终测量位置的水平误差的最大值为“XY正交度”。

承重

可在手动平台上装载的与平台面对应的等分载荷即为“承重”。

质量

表示平台本体的质量。

主要材质/表面处理

表示平台使用的主要材料的材质与其外装(电镀、涂装等)。

RoHS指令对应情况

欧洲RoHS指令的限制物质在容许值以下(属于适用除外项目时,该容许值以下)的产品作为“欧洲RoHS10物质不使用(不含有)产品”,标示RoHS2标志。

圆度[依据JIS B 6191-1993、B 6194-1997]

是应为圆形的部分偏离几何学圆的程度,平面内的线,其线上的所有点在两个同心圆之间,圆的半径方向的间隔差最小时,用这两个同心圆的半径方向的间隔差显示。”
测量值与几何学圆的最大差为圆度。

面摆动[依据JIS B 6191-1993]

以一个轴为中心旋转的端面,在旋转中偏离与该轴成直角的一个平面的程度。”
旋转平台的平台上面在轴向(垂直方向)的摆动的最大值称为“面摆动”。

旋转中心精度[中央精机 公司标准]

从测角平台的平台上面到理想旋转中心的位置为基准,将平台定位后,测量相对于理想旋转中心的最大差。
以最大差为半径的球的直径即为“旋转中心精度”。

进给精度/span>

设计上,在与千分尺测微头的主轴之间进行弹簧加载,因而再现性良好,背隙也最小,达到几乎可以无视的程度。因此,进给精度可以说在非常大的程度上取决于千分尺测微头自身的进给精度及平台移动的真直度。
本公司的平台中,对于移动导向(导向方式)采用了V-CR方式、HG-VCR方式的平台,根据其除了精密定位用以外,还能用于测长的特点而考虑了进给精度。综合千分尺测微头的精度、平台的真直度及两者的连接精度等误差因素,变成如下所示。

 90㎜×90㎜以下のステージに対して(1+2L/10)μm以内
 90㎜×90㎜を超え125㎜×150㎜以下のステージに対して(1+L/10)μm以内
 ただし、Lは送り量(㎜)とする。

这种精度是千分尺测微头位于平台中心轴上的类型。
千分尺测微头在平台侧面的不受此限。
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