製品情報

オートコリメータ

LAC-SB

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レーザーオートコリメータ
販売元(株)ニコンソリューションズ

製品資料

※寸法記載がない部分はお問い合わせください。

特長

    レーザーオートコリメータは、光の直進性とレンズの集光を利用して角度(ヨーイング、ピッチング)を測定する高精度な光学機器です。LAC-SBは半導体レーザを光源とし、平行光を測定対象に照射します。反射光の位置をイメージセンサで検出し、その位置から角度を算出します。対象物が傾いている場合、反射光の角度が変わるため、その変化から面の角度を正確に測定できます。レーザーオートコリメータは、正確性、測定スピード、コストパフォーマンスに優れた製品です。

  • 非接触で高精度な角度測定
    測定対象に触れることなく、正確な角度測定が可能
  • 柔軟な測定
    作動距離(W.D.)によらず、様々な環境で柔軟に測定
  • 直感的な操作
    カウンタに大型タッチパネルディスプレイを採用し、視覚的で直感的な操作が可能
  • 豊富なアクセサリ
    各種測定用ミラーや光軸合わせ用アジャスタブルベースなどの多彩なアクセサリをラインアップ

※ニコンソリューションズが販売元になります。

仕様

光源半導体レーザ(640nm)、レーザ出力0.5mW以下、レーザクラス2
検出部CMOSセンサ
射出ビーム径φ6mm
対物レンズ焦点距離600mm
被測定物反射率4~100%(感度調整式)
電源AC100~240V、50/60Hz、1.5A(ACアダプタ付属、ケーブル長3m)
測定可能な角度範囲±180秒(2軸同時)
表示分解能0.01秒(0.1秒、1秒表示選択可能)
重心データ更新周期1/30s
測定精度距離1,000㎜まで 範囲±120秒以内±0.5秒 範囲±180秒以内±1.0秒
距離2,500㎜まで 範囲±180秒以内±1.0秒
測定環境20±1℃(測定精度保証温度)
外部インターフェースシリアル通信(RS-232C)
LAC-SB本体部寸法W150mm×D253.5mm×H149mm
LAC-SBカウンタ部寸法W326mm×D206mm×H435mm
質量本体部7kg、カウンタ部5.5kg

概要

レーザーオートコリメータLAC-SAは従来モデルのLAC-Sの特長を継承しつつさらなる機能・性能の向上を図った製品です。従来通り、光源に半導体レーザー、センサにCMOSを使用することでウォーミングアップの短縮を実現しているほか、カウンタにタッチパネルディスプレイを採用し、実ビームの表示や合否判定機能を搭載するなど、さらに作業性が高められています。
また、カウンタの機能のフィルタリングによる高精度な環境要素のばらつき除去に加え、測定値が安定している状態を表示する機能を搭載し、適切なタイミングで測定値を読み取ることが可能です。基本性能として±0.5″の測定精度を簡単なセッティングでご提供します。

主な用途

  • 移動台の真直度測定
  • 端面の平行度測定
  • 直角度の測定
  • 回転角の測定
  • 回転案内面の真直度測定
  • 光学素子のアライメント
  • 光軸調整
  • 運動体の再現性観測

納入使用例

  • 小型光学部品の角度測定、平行度測定
  • 工作機械のベッドの真直度測定
  • ディスクのうねり測定
  • ポリゴンミラーの分割精度測定
  • 装置組立時の位置計測

レーザーオートコリメータの測定原理

光学系

図1に光学系を示します。半導体レーザーから出たビームは、集光レンズ(L1)によってピンホール(P)に集光します。
レーザービームは紙面に対して水平なP偏光のビームですが、ピンホール(P)を出て広がったのち偏光ビームスプリッタ(PBS)を透過して1/4波長板を通り、直線偏光から円偏光に変わります。そして、ミラー(M1~ M4)を経てコリメータレンズ(L2)によって平行ビームとして射出されます。
この平行ビームは測定用ミラー(M5)により反射され逆回りの円偏光になります。再びミラー(M4~ M1)を経て1/4波長板に入ります。このときに逆回りの円偏光が紙面に対して垂直なS偏光になり、今度は偏光ビームスプリッタ(PBS)で反射され位置検出用センサ(CMOS)に入ります。
図2は図1のミラー(M1~ M4)を取り除いて光路を描いたものです。測定用ミラー(M5)がθだけ傾くと、M5で反射されて戻るビームは2 θだけ傾いた方向でコリメータレンズ(L2)に入射して、CMOS上の中心線よりdだけずれた位置にピンホール(P)の像を結びます。これはd=ftan2θ≒ 2fθの関係になります。
したがってdを検出することによって測定用ミラー(M5)の傾き角θを知ることができます。

LAC-SA使用例

案内面の真直度

平面鏡が固定された台を案内面にそって滑らせ、平面鏡による十字線像の移動量を読み取ります。

案内面の真直度

真直度測定は図に示すように2点連鎖法により各測定点でθに基づいて各点のhおよびHを求めます。

測定は、一般的な「両端の高さをそろえてHを補正して、最大値と最小値の差を真直度とする(A)」方法が1つ。
また、JIS規格の”一端の高さを零とし・・・(中略)・・・各点の高さを測定して描いた線図を互いに平行な2直線ではさんでその開きが最小となる時の両直線の高さの差を求める”と定められる「最小領域法(B)」の2つがあります。

回転盤の回転角の測定

多面鏡を利用して回転テーブルや割り出し盤の分割精度を測定します。
8面鏡は360度を8等分していますので45度単位の精密角度割出しの基準になります。
また、12面鏡を用いれば、30度単位での測定ができます。

弾性片のたわみ

弾性片に反射鏡を固定し、LAC-SAで観察すると微小な変化量が読み取れます。