Zステージ

ALZ-7013-G1M-RSA

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ハイグレードZステージ、ボールねじ仕様 スケール付(対称型)
¥360,000
移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 70mm×70mm

製品資料

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説明

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
ボールねじ 仕様スケール付です。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

仕様

移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 70mm×70mm
使用モータ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじ仕様 ボールねじ
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移動精度HV 真直度(水平・垂直)0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.012mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.06sec/N・cm、ピッチ剛性 0.08sec/N・cm、ロール剛性 0.08sec/N・cm
耐荷重 19.6N(2kgf)
質量 0.93kg
最高速度 10mm/s(5,000pps時)
主要材質/表面処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
スケール型式 RENISHAW
スケール分解能 0.1μm
スケール精度 ±5μm/m
標準付属品 検査合格証
六角穴付ボルト(本体固定用)M4 4本
エンコーダ接続ケーブル
接続ステージ選択
(パラメータNo.4)
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補足事項 ※コントローラドライバQT-Bシリーズの接続ステージ選択(パラメータNo.4)を00にする(接続設定を使用しない)場合は、コントローラドライバのディップSWとパラメータNo.1~3を設定してください。
●リミットスイッチ:該当するディップSWをOFF
●パラメータNo.1(原点センサ論理):2(NC)
●パラメータNo.2(原点前センサ論理):0(未使用)
●パラメータNo.3(原点復帰モード):2(原点・Z相)、3(原点)、4(リミット・Z相)または5(リミット)

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート