製品情報

オートフォーカス顕微鏡

AF-IZ

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オートフォーカス顕微鏡(AF-IZタイプ)
別途御見積
オートフォーカス顕微鏡 AF-IZ AF-IZ S2-N60WP

製品資料

説明

●従来の駆動部と異なり対物レンズのみ上下動させ、駆動部と鏡筒を一体化することで省スペースを実現しました。
●オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクトサイズです。
●(株)ニコン製対物レンズCF/ICシリーズ、CFI60シリーズ、オリンパス(株)製対物レンズUIS2シリーズ、および(株)ミツトヨ製対物レンズに対応します。
●ガラスやプラスチックなどの透明体表面へもオートフォーカス可能です。
●窪みや穴のある表面にも対応します。
●マクロからミクロまで幅の広い倍率に対応可能です。
●センサ部(1ライン、2ライン)、パターン移動装置の有無等、用途により選択可能です。
●観察方法に合わせ、可視タイプ、赤外(IR)タイプとAFパターンが選択可能です。

※オートフォーカス顕微鏡カタログ(2020年7月発行、日本語・英語併記)はこちら(PDFダウンロード、約9Mバイト)からダウンロードできます(別ウインドウが開きます)。

仕様

対物レンズ、顕微鏡 ニコン、オリンパス、ミツトヨ
カメラ Cマウントカメラ(素子サイズ2/3インチ以下)
駆動部 型式 AF-361ZA
駆動部 最小分解能 0.078μm
駆動部 移動量 標準4mm(10mmまで設定可能)
合焦方式 ラインセンサ方式
サーチ範囲 ±250μm(対物レンズ20×)
サーチタイム 0.3秒(上記条件時)
AF精度 焦点深度の1/4
付属品 センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各3m標準 ※ケーブル長15mまで実績あり
対象試料 金属面、ガラス面、プラスチック面、紙など

説明写真

説明図

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補足

性能比較