利点
●顕微鏡投光管への搭載が可能なため、顕微鏡観察方法を犠牲にせずシステム構築が可能。
●制御用コントローラとAFセンサ部を一体化したシンプル構成のオートフォーカスシステム。

お客様の声
半導体検査装置メーケー　B社
高精度なオートフォーカスシステムはウエハ検査装置には欠かせないですね。

※オートフォーカスシステムのカタログ（2024年11月発行、日本語）はこちら（PDFダウンロード、約9Mバイト）からダウンロードできます（別ウインドウが開きます）。

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