利点
●顕微鏡レボルバー（手動・電動）を組み合わせ、低～高倍率までの観察が可能。
●コンパクト設計なため、容易に検査装置への組み込みができ、導入コスト削減。

お客様の声
半導体検査装置メーカー　B社
高精度なオートフォーカスシステムはウエハ検査装置には欠かせないですね。

※オートフォーカスシステムのカタログ（2024年11月発行、日本語）はこちら（PDFダウンロード、約9Mバイト）からダウンロードできます（別ウインドウが開きます）。

※オートフォーカス顕微鏡カタログ（2020年7月発行、旧版、日本語・英語併記）はこちら（PDFダウンロード、約9Mバイト）からダウンロードできます（別ウインドウが開きます）。

オートフォーカス顕微鏡の紹介動画はこちら