レーザーミラー -中央精機株式会社 | 精密ステージユニット、光学関連機器-

製品情報

レーザーミラー

ELMR-193-50

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エキシマレーザーミラー（193nm）

¥63,000

種別	エキシマレーザーミラー（ELMR）
外形D(mm)	φ50
設計波長	193nm

RoHS対応状況

製品資料

YES

説明

紫外光を出射するエキシマレーザー用にデザインされたレーザーミラーです。基板には熱的安定性に優れた合成石英ガラスを使用しています。基板面精度1/10λを実現する高精度研磨加工により、光の反射面の歪みや散乱を低く抑えます。設計波長において97-99.5%以上の高反射特性を実現。同波長においては、反射特性の偏光依存性はほとんどありません

仕様

種別	エキシマレーザーミラー（ELMR）
コーティング	誘電体多層膜コーティング
設計波長	193nm
反射率(％)	>97（@設計波長）
レーザー耐力	1.5J/cm²（10nsパルス）
外形D(mm)	φ50
外形公差(mm)	0
板厚(mm)	10
板厚公差(mm)	±0.2mm
材質	合成石英
材質(熱膨張係数)	0.55×10^-6/℃
設計入射角	45°
有効径(mm)	45
基板面精度	λ/10（@632.8nm）
表面品質(キズ-ブツ)	10 - 5
平行度	<3′
基板裏面	砂面

分光特性表

仕様図