合成石英ガラスを基板に採用し、研磨加工により板厚を薄くするとともに、基板の面精度の高さも両立させた高性能プレート型ビームスプリッタです。250-450nmの紫外域で機能するプレート型ビームスプリッタを用意しました。基板の表面側には所定のR/T分割を実現するための誘電体多層膜、また裏面には不要な戻り光を低減し、スループットを最大限に改善するマルチARコートが施されています。