• 扉側が全開放のため装置の出し入れが容易、また、分解が簡便なため、装置設置後の取り付けが可能です。
• 設置場所の温度・湿度状態により、温度差の少ないところでは透明アクリル板を使用、温度差の大きいところでは真空ガラスを使用し、ナノチャンバー内部の恒温・恒湿状態をより最適な状態にします。また、壁面素材は透明なものを使用できるため、装置稼動中もチャンバー内部を観察可能です。
• チャンバー扉の開閉個所、装置下部にもスポンジシートを装着し、密閉度を確保しています。
• 後から給気ユニットが装着できるよう、排気ダクト取付穴が標準設置されています。
• 給気ユニットは温度・湿度を制御しクリーンな処理空気をチャンバー内部へ供給し、温度・湿度の設定域が広く、なおかつ精度の高い、安定性のよい給気を提供可能です。
• クリーンエリアに設置しても、発塵の全く心配のない給気ユニットを使用しています。ステンレス表面研磨仕上げで、汚れを室内に取り込むことなく、完全な清掃が可能です。ユニット全面にわたって周囲のエアーを吸い込むのでユニット内空気が漏れて周囲の空気を汚染することがありません。

※仕様は写真掲載した製品のものです。お客様のご希望のサイズに応じて製作いたします。
※給気ユニットは併用するナノチャンバーの容積に合わせて供給容量が変わり、それにあった製品を使用します。
※ユーティリティとして水冷仕様の場合は冷却水の供給が必要となりますが、チラーユニットを接続して使用することもできます。
※空冷仕様の製作も可能です。