製品情報

マイクロスキャニングステージ

MSS-H200AD

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マイクロスキャニングステージ
¥1,700,000
移動量 XY軸±100mm
ステージ面 356mm×356mm
分解能 0.002mm

製品資料

※寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。
高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。
繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内(約φ0.1mm)の位置再現性も十分にあります。
当社製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
※RoHS指令の規制6物質に関しての不使用(不含有)に該当する製品です。

仕様

移動方向 XY軸2方向
移動量 XY軸±100mm
ステージ面 356mm×356mm
使用モータ αステップモータ ARM46AC相当品
分解能 0.002mm
送りねじリード 2mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度 0.010mm(水平)、0.025mm(垂直)
位置決め精度(1/10ストローク) X軸0.015mm、Y軸0.015mm
位置決め精度(フルストローク) X軸0.060mm、Y軸0.050mm
繰り返し精度 ±0.002mm
ロストモーション 0.003mm
耐荷重 49N(5kg)
質量 ステージ本体 約15kg、ドライバ本体 6.0kg
最高速度 100mm/s
主要材質/表面処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
ドライバ型番 QT-ARD2
入力電源 AC100~115V 50/60Hz 最大6.0A
外形寸法(mm) W200×D280×H200mm(突起部含まず)
駆動軸数 2軸
駆動方式 2相ステッピングバイポーラ方式
駆動電流 0.49A/相
分解能切換 0.002mm(初期値)、(内部スイッチにより0.004mm、0.0004mm、0.0002mm切換可)
入力信号 駆動パルス
 ・パルス方式:2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)
 ・最大パルス周波数:250KHz(50%デューティー時)
 ・パルス電圧:+5V
 ・対応信号形態:オープンコレクタ、ラインドライバ
入力信号 駆動パルス
 ・パルス方式:2パルス方式(初期値)、(内部スイッチにより1パルス方式切換可)
 ・最大パルス周波数:250KHz(50%デューティー時)
 ・パルス電圧:+5V
 ・対応信号形態:オープンコレクタ、ラインドライバ
適合ステージ MSS-H200A、またはMSS-H300A専用
推奨コントローラ QT-AMH2、QT-ADM2
付属ケーブル ACケーブル、センサケーブル、モータケーブル、QT-Aコントローラ接続用ケーブル
標準付属品 フラットベース
検査合格証
六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本、六角穴付きボルト(フラットベース固定用)M6 4本
補足事項 ※MSS-H200ADはステージ本体のMSS-200A、専用ドライバQT-ARD2および接続ケーブルのセット製品です。

接続方法

センサ動作論理とタイミングチャート

ドライバ写真

説明図

補足

付属