移動方向 |
XY軸2方向 |
移動量 |
XY軸±100mm |
ステージ面 |
355mm×305mm |
使用モータ |
PK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) |
分解能 |
0.002mm |
送りねじ仕様 |
ボールねじ |
送りねじリード |
1mm |
移動ガイド |
V溝とクロスローラ |
移動精度 |
真直度0.010mm(水平)、0.025mm(垂直) |
位置決め精度(1/10ストローク) |
X軸0.015mm、Y軸0.015mm |
位置決め精度(フルストローク) |
X軸0.060mm、Y軸0.050mm |
繰り返し精度 |
±0.002mm |
ロストモーション |
0.003mm |
耐荷重 |
49N(5kgf) |
質量 |
7.3kg(アルミプレートを除く) |
最高速度 |
16mm/s(8,000pps時) |
主要材質/表面処理 |
アルミ合金/黒アルマイト梨地 |
原点センサ |
ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ |
リミットセンサ |
ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ |
適合ケーブル |
ACB-STM2、ACB-STM3 |
標準付属品 |
アルミプレート 検査合格証 六角穴付きボルト(本体固定用)M4 4本、六角穴付きボルト(本体固定用)M6 4本 |
適合顕微鏡メーカー |
オリンパス |
対応顕微鏡 |
MX50、MX61、MX61A、MX61L、MX80、オプチフォト 200 |
補足事項 |
◆QT-Aシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 36 |