アクティブ除振台の原理
アクティブ除振台は、振動や位置変動のセンサを設置し、発生している振動や位置変動を小さくするようにアクチュエータを動作させます。これをフィードバック制御(FB制御)と言います。その結果、パッシブ除振台では必然的に生じていた共振現象が無くなります。
外部から与えられた振動の影響を短い時間に減衰させることができます。また、アクチュエータの出⼒をバランスさせることにより、定盤に与えるねじり荷重を減少できます。