高精度高剛性ステージ

ALZ-903-H1S

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Zステージ　高精度高剛性型
¥600,000
移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 90mm×100mm
YESRoHS対応状況

製品資料

  • 寸法記載がない部分はお問い合わせください。

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説明

機械精度を追求した超高精度の自動Zステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
テーブル落下防止の電磁ブレーキがついています。（QT-BKが必要です）
スケール付もございます。営業部までお問い合わせください。
※Zブラケットなし(本体のみ)もご用意出来ます
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仕様

移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 90mm×100mm
使用モータ PK545相当　電磁ブレーキ付（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじ仕様 ボールねじ
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度（水平・垂直）0.0007mm
移動精度YP ヨーイング・ピッチング4sec
位置決め精度 0.002mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.1sec/N・cm、ピッチ剛性　0.15sec/N・cm、ロール剛性　0.1sec/N・cm
耐荷重 98N（10kgf）
質量 5.5kg
最高速度 10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／カニゼンメッキ（テーブル）、塗装（ベース、ブラケット）
原点センサ ノーマルオープン接点（メイク接点、Ａ接点）動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
標準付属品 検査合格証
六角穴付ボルト（本体固定用）M4　4本
接続ステージ選択
(パラメータNo.4)		 14
補足事項 ※コントローラドライバQT-Bシリーズの接続ステージ選択（パラメータNo.4）を00にする（接続設定を使用しない）場合は、コントローラドライバのディップSWとパラメータNo.1～3を設定してください。
●リミットスイッチ：該当するディップSWをOFF
●パラメータNo.1（原点センサ論理）：1（NO）
●パラメータNo.2（原点前センサ論理）：2（NC）
●パラメータNo.3（原点復帰モード）：0（原点・原点前・Z相）、1（原点・原点前）、4（リミット・Z相）または5（リミット）
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接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート

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