高精度高剛性ステージ

ALZ-903-H1S

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Zステージ 高精度高剛性型
¥600,000
移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 90mm×100mm
YESRoHS対応状況

製品資料

  • 寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

機械精度を追求した超高精度の自動Zステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
テーブル落下防止の電磁ブレーキがついています。(QT-BKが必要です)
スケール付もございます。営業部までお問い合わせください。
※Zブラケットなし(本体のみ)もご用意出来ます

仕様

移動方向 Z軸1方向
移動量 ±15mm
ステージ面 90mm×100mm
使用モータ PK545相当 電磁ブレーキ付(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじ仕様 ボールねじ
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度(水平・垂直)0.0007mm
移動精度YP ヨーイング・ピッチング4sec
位置決め精度 0.002mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.0005mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.1sec/N・cm、ピッチ剛性 0.15sec/N・cm、ロール剛性 0.1sec/N・cm
耐荷重 98N(10kgf)
質量 5.5kg
最高速度 10mm/s(5,000pps時)
主要材質/表面処理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗装(ベース、ブラケット)
原点センサ ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ
原点前センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-BTD2、ACB-BTD3、ARC-BTD3
標準付属品 検査合格証
六角穴付ボルト(本体固定用)M4 4本
補足事項 ◆QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 14

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート