| ステージ面 |
φ125mm |
| クランプ方式 |
XYZ軸 板クランプ、回転軸 複合クランプ |
| 操作部取付位置 |
XY軸 サイド |
| 移動機構/送り方式 |
XY軸 MHN1-25TA、Z軸 CMH-13FM、回転軸 CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ) |
| 移動量 |
XY軸±12.5mm、Z軸0～10mm、回転 粗動360°微動±5° |
| 移動量/ツマミ１回転 |
XYZ軸 0.5mm、回転軸 約0.39° |
| 目量 |
XYZ軸 マイクロメータ式0.01mm、回転軸 バーニヤ読み5′／マイクロメータ式0.01mm（1目盛約0.008°） |
| 感度 |
XYZ軸0.003mm |
| 移動ガイド |
XY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球、回転軸 すり合わせ式 |
| 移動精度 |
|
| 移動精度HV |
真直度 XY軸 0.003mm、真直度 Z軸 0.005mm、心円度 回転軸 0.05mm、面振れ 回転軸 0.03mm |
| XY直交度 |
0.02mm |
| 耐荷重 |
29.4N(3kgf) |
| 質量 |
6.6kg |
| 主要材質/表面処理 |
XY軸 鋼材／硬質黒色クロム、Z軸回転軸 アルミ合金／黒アルマイト梨地 |
| 標準付属品 |
検査合格証
六角穴付ボルト（本体固定用）M4 4本 |