ボールウェイステージ

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ALD-220-C2A1
XYステージ
¥720,000
移動量 ：
±100mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALD-220-C5A1
XYステージ（ねじリード5mm）
¥720,000
移動量 ：
±100mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.01mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALD-230-C2A1
XYステージ
¥800,000
移動量 ：
±150mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALD-230-C5A1
XYステージ（ねじリード5mm）
¥800,000
移動量 ：
±150mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.01mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALZ-220-C2B1
Zステージ
¥435,000
移動量 ：
±100mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALS-220-C2B1
Xステージ
¥385,000
移動量 ：
±100mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALZ-230-C2B1
Zステージ
¥475,000
移動量 ：
±150mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALS-230-C2B1
Xステージ
¥425,000
移動量 ：
±150mm
ステージ面 ：
200mm×200mm
分解能 ：

0.004mm

自動ステージ・アクチュエータ
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