製品情報

自动对焦系统

AF-77VB

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自动对焦显微镜(支持转换器)

产品资料

特长

●物镜转盘型号带有多个物镜镜,用途广泛。
●显微镜物镜转盘(手动和电动)的组合可实现低至高放大倍率的观察。
●紧凑的设计可以轻松集成到检测设备中。

客户心声
半导体检测设备制造B
高性能自动对焦系统对于晶圆检测设备至关重要。

※自动对焦系统目录(2024 年 11 月发布,英文)点击此处(PDF下载,约9MB)您可以从此处下载(在新窗口中打开)

AF介绍电影(※单击图像在新窗口中打开)

规格

物镜 与主要显微镜制造商兼容
合焦方式 线传感器方式
AF精度 焦深±1/4以内
观察方法 仅明视场观察, 还支持暗场和微分干涉观察
相机支架 C 型接口:成像传感器尺寸 2/3 或更小
AF光源(振荡波长) LED光源(780或550 nm)
传感器 线传感器
Z轴驱动装置 它可以与各种驱动单元组合
控制设备 专用控制器(AFC-6)

说明 照片

说明 图

补充