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自动对焦系统
自动对焦系统
AF-77VB
1
自动对焦显微镜(支持转换器)
产品资料
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特长
●物镜转盘型号带有多个物镜镜,用途广泛。
●显微镜物镜转盘(手动和电动)的组合可实现低至高放大倍率的观察。
●紧凑的设计可以轻松集成到检测设备中。
客户心声
半导体检测设备制造B
高性能自动对焦系统对于晶圆检测设备至关重要。
※自动对焦系统目录(2024 年 11 月发布,英文)
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AF介绍电影(※单击图像在新窗口中打开)
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规格
物镜
与主要显微镜制造商兼容
合焦方式
线传感器方式
AF精度
焦深±1/4以内
观察方法
仅明视场观察, 还支持暗场和微分干涉观察
相机支架
C 型接口:成像传感器尺寸 2/3 或更小
AF光源(振荡波长)
LED光源(780或550 nm)
传感器
线传感器
Z轴驱动装置
它可以与各种驱动单元组合
控制设备
专用控制器(AFC-6)
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