基本的にオーダーメイドではありますが、以下のような対応にて比較的短納期、低価格にて御提供が可能です。
・標準品をベースとして、外装、モータ、グリースを真空仕様にして対応。
・真空圧力10-5Paに対応。
・真空対応リミットスイッチを装備。
・真空グリースは高真空用のフォンブリンのワイバック(Y-HVAC 140/13)を使用。
・四重極形質量分析計により真空中での放出ガスの評価を行いQ-massデータを提出することも可能。(オプション)
・TiNコートも対応可能。(オプション)
・真空チャンバーメーカーとのタイアップによりチャンバー自体もオーダーメイド可能。