自動ステージ 関連

自動ステージ 関連

ステージを精度よく設置するには

ダイヤルゲージを使用した取付方法(弊社推奨の取り付け方法です。)
ステージ取り付け部付近に設けたお客様が設けた基準面と、ステージの走りが平行となるようダイヤルゲージを使用して、ステージを矢印方向へ動かしながら平行度を測定し、ダイヤルゲージの変位が最小となるよう取り付けて下さい。
ステージの加工基準面を使用した簡易的な取付方法
ハイグレードステージは、下図のような加工基準面を持っています。

ステージを設置する際に、設置したい箇所の基準面や基準ピンなどに、この加工基準面を突き当てて取り付けることで、簡易的に平行を合わせて設置することが可能です。

使用環境

自動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度/湿度でご使用ください。

【温度】10 ~ 40℃
【湿度】20 ~ 80%RH

真空環境対応について

真空のレベルを表す単位は、バール(Bar)、パスカル(Pa)、トール(Torr)がありますが、最近は長年親しまれた、トール(Torr)からSi単位のパスカル(Pa)に移行しつつあります。

【101325Pa 】大気圧
【およそ100Paまで】低真空 真空パックレベル
【およそ10-1Paまで】中真空 魔法瓶レベル
【およそ10-5Paまで】高真空 電子顕微鏡で扱う、または国際宇宙ステーションがある環境
【およそ10-7Paまで】超高真空 放射光施設で扱う、または人工衛星がある環境
【それ以上 極高真空】宇宙空間、恒星間等
自動ステージが対応出来る真空度
別途仕様打合せにより10-5Paまで対応いたします。 また、それ以上の超高真空に関しましては詳細打合せの上、条件付にて対応可能な場合がありますので、別途ご相談下さい。
真空環境対応自動ステージの概略仕様
基本的にオーダーメイドではありますが、以下のような対応にて比較的短納期、低価格にて御提供が可能です。

・標準品をベースとして、外装、モータ、グリースを真空仕様にして対応。
・真空圧力10-5Paに対応。
・真空対応リミットスイッチを装備。
・真空グリースは高真空用のフォンブリンのワイバック(Y-HVAC 140/13)を使用。
・四重極形質量分析計により真空中での放出ガスの評価を行いQ-massデータを提出することも可能。(オプション)
・TiNコートも対応可能。(オプション)
・真空チャンバーメーカーとのタイアップによりチャンバー自体もオーダーメイド可能。
真空チャンバー内での使用イメージ
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