光ピックアップ調整装置やディスク製造装置などの角度調整を必要とする分野で広く利用されている傾斜ステージに新たな駆動機構を採用しラインアップしました。
その駆動機構はこの度当社で開発しました「複合カップリング機構　CCM」で、今までの傾斜ステージの持つ問題点を解決し、高精度、高分解能、耐久性、駆動トルクの向上を実現しました。

■ウォームギヤ方式
ウォームホイールとウォームギヤによる一般的な駆動機構です。傾斜ステージでは上テーブルの一部をウォームホイール形状にし、ウォームギヤで駆動させています。この機構は、一定量のバックラッシュを持たせるか、十分なラッピング調整を行わないと、動作時にウォームギヤが重くなったり、ウォームギヤの偏心により回転トルクムラが出ることがありました。また、ウォームホイールとウォームギヤの摺動面が少ないため、耐磨耗性にも問題がありました。

■アクチュエータ＋ばね方式
アクチュエータとばねを使用した一般的な微動傾斜ステージに採用されている駆動機構です。アクチュエータで上テーブルを押し出し、ばねで上テーブルをアクチュエータ側に戻してバックラッシュを無くす機構です。この機構は、ばね力が強いとアクチュエータにかかる負荷が重くなり、駆動時の負荷が大きいとテーブルが重くなったり、ばね力が弱いとテーブルが戻らなくなる問題がありました。

「複合カップリング機構」の駆動は送りねじと特殊な連結部品を採用しているので、従来技術に対し次のような特長があります。

・ウォームギヤ方式に比べ高分解能です。
・特殊な連結部品の自由な動きにより、回転ムラを吸収します。
・駆動トルクが小さいので、滑らかな動きが実現できます。
・ ウォームギヤより摺動面が多くできるので、耐久性を向上できます。
・ばねを使用しないので、確実な送りが実現できます。
・ 送りねじのリードを変更することにより分解能や移動速度の変更が可能です。
　

直線軌道を円弧軌道に変換しているため、送りねじの移動量と実際に動く傾斜部分との間にタンジェントカーブに沿った角度誤差と送りねじと傾斜部分の距離にサインカーブに沿った角度誤差が存在します。しかし、現実には移動量±3°以内での位置決め誤差は微小で、移動量±5°以内でもウォームギヤ方式の位置決めより少なくなります。また、補正を行うことによって高い位置決め精度を実現することも可能となります。

この「複合カップリング機構」は「テーブル姿勢調整装置　特許第3848304号」として特許登録されました。

■複合カップリング機構を採用したステージ