マイクロメータヘッドのスピンドルとの間をスプリングローディングすることにより、再現性が良くバックラッシもほとんど無視できるほど最小になるように設計されています。したがって送り精度は、マイクロメータヘッド自身の送り精度、およびステージの移動による真直度に依存するところが非常に大きいといえます。
当社のステージのうち、移動ガイド(案内方式)としてV-CR方式、HG-VCR方式を採用したステージについては、精密位置決め用のほかに測長用にも使用できるということから、送り精度を考慮しています。これはマイクロメータヘッドの精度、ステージの真直度および両者の連結精度などの誤差要因を合わせて、次のようになります。
90㎜×90㎜以下のステージに対して(1+2L/10)μm以内
90㎜×90㎜を超え125㎜×150㎜以下のステージに対して(1+L/10)μm以内
ただし、Lは送り量(㎜)とする。
マイクロメータヘッドがステージの中心軸上にあるタイプの精度です。
ステージ側面にマイクロメータヘッドがつくものはこの限りではありません。