高精度高刚性平台

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Z 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±15mm
平台面 :
90mm×100mm
分辨率 :

0.002mm

Z 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±50mm
平台面 :
150mm×200mm
分辨率 :

0.002mm

Z 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±25mm
平台面 :
125mm×160mm
分辨率 :

0.002mm

XY 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±15mm
平台面 :
90mm×100mm
分辨率 :

0.002mm

XY 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±50mm
平台面 :
150mm×200mm
分辨率 :

0.002mm

XY 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±25mm
平台面 :
125mm×160mm
分辨率 :

0.002mm

X 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±15mm
平台面 :
90mm×100mm
分辨率 :

0.002mm

X 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±50mm
平台面 :
150mm×200mm
分辨率 :

0.002mm

X 平台 高精度高刚性型
移动量 :
±25mm
平台面 :
125mm×160mm
分辨率 :

0.002mm

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